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新闻中心

开发出超高速应答数字气体流量控制器

2006年1月23日
株式会社 山武

     株式会社山武开发出具备300ms高速应答能力的数字气体流量控制器“CMQ-V系列”,于1月24日开始销售。


     CMQ-V系列是替代1997年上市的CMQ系列的新机种,是搭载了山武独自生产的超微小热式流速传感器的气体流量控制器。它是一种采用高度的PID控制技术驱动比例驱动器的高性能气体流量控制器。与旧系列相比,控制的应答性更快(500ms→300ms),控制精度更高(1%FS→0.5%FS、可选时能达到1%SP),并且通过将电源回路和模拟回路绝缘,能减低安装成本。


     标准规格的型号能对应空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳、都市煤气、沼气、丙烷、丁烷、氢气、氦气,每种型号都有一体型显示和分离型显示可供选择。


     山武自1997年开发出CMQ系列以来,发挥微流量传感器的1ms(1000分之1秒)高速应答能力,为市场提供了采用独特的控制演算法和流路设计的产品。液晶背照光和荧光灯等玻璃加工工程(熔接、切断)中使用的烧嘴的空燃比控制性能及氮气、氩气、氢气等工业燃气的流量控制性能远远找过其它厂家的产品,拥有很高的市场占有率。


     本次新开发的CMQ-V系列适用于要求高速控制和抗噪音的成膜装置,以及要求更高的绝对精度的燃料电池评价装置。第1年度的销售额预计为15亿日元(约合1亿人民币),3年后达到30亿日元(约合2亿人民币)。



产品特长

  • 实现了300ms以下的高速控制。在“从全闭状态到设定流量的整定”或“设定值变更”方面也表现出惊人的高速性。
  • 提高了精度和重复性
    标准燃气型号中,标准全量程流量为200mL/min至50L/min的机种。
    1. 标准规格
      精度: ±0.5%FS(0%ㄑQㄑ50%FS)
      ±1.0%FS(50%<Qㄑ100%FS)
      重复性: ±0.25%FS(0%ㄑQㄑ50%FS)
      ±0.5%FS(50%<Qㄑ100%FS)
    2. 高精度规格(可选)
      精度: ±0.2%FS(0%ㄑQ<20%FS)
      ±1.0%SP(20%ㄑQㄑ100%FS)
      重复性: ±0.1%FS(0%ㄑQ<20%FS)
      ±0.5%SP(20%ㄑQㄑ100%FS)

    氢气对应型号,标准全量程流量为500mL/min至200L/min的机种。

    精度: ±0.5%FS(0%ㄑQㄑ40%FS)
    ±1.0%FS(40%<Qㄑ80%FS)
    ±2.0%FS(80%<Qㄑ100%FS)
    重复性: ±0.25%FS(0%ㄑQㄑ40%FS)
    ±0.5%FS(40%<Qㄑ100%FS)
注意事项:
1) Q表示流量的设定值
2) %FS表示全量程的误差
3) %SP表示设定值的误差
  • 本体内部的电源回路和模拟回路之间绝缘。采用PLC等通过模拟输出输入方式控制多台本体时,即使PLC一侧的模拟块的各通道间并不绝缘,也能使用共用电源。无需为每台本体准备电源,也不会发生因周围电路引起的不良现象。
  • 标准规格型号在低于50kPa的低差压领域也能进行控制,而且能用于燃料燃气等的低压输送的应用中。
  • 增加了电流输出输入信号(4~20mA、0~20mA)
  • 可以使用市场上买得到的AC适配器(AC100~240V、需另外购买)
  • 增加了以下功能:
    • 多个SP设定功能(8点)
    • 控制量程的任意设定功能

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