气体质量流量计CMS系列是检测部分采用本公司独自开发的感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。

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使用说明书 (PDF/2.46MB)

气体质量流量计CMS/CMF系列通讯功能篇 (PDF/2.70MB)

气体质量流量计CMS系列是检测部分采用本公司独自开发的超小型感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。

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使用说明书 (PDF/2.40MB)

气体质量流量计CMS/CMF系列通讯功能篇 (PDF/2.70MB)

气体质量流量计CMS1500是检测部分采用本公司独自开发的感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度和宽量程。并且，易于使用，可靠性高。

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盘装质量流量控制器MPC系列是本公司独自开发的超高速响应流速传感器。集MicroFlow传感器、超小型比例电磁阀、新方式的流路和高度的执行器技术于一体，可安装在仪表盘上的质量流量控制器。

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使用说明书 详细篇 (PDF/903KB)

使用说明书 通讯功能篇 (PDF/1.47MB)

气体质量流量监测器CMG系列是检测部分采用感热式流量传感器MicroFlow传感器芯片,测量燃气烧嘴的燃料流量的流量计。不需要温度·压力的换算，测量标准状态下的体积流量，显示瞬时流量和积算流量。并且，通过报警接点输出和模拟输出信号可以进行瞬时流量输出,通过开路集电极输出信号进行积算脉冲和事件输出。

依靠这些功能可以实现细致的空燃比控制和装置的流量控制。

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使用说明书 (PDF/3.26MB)

气体质量流量监测器CMG系列是检测部分采用感热式流量传感器MicroFlow传感器芯片,测量燃气烧嘴的燃料流量的流量计。不需要温度·压力的换算，测量标准状态下的体积流量，显示瞬时流量和积算流量。并且，通过报警接点输出和模拟输出信号可以进行瞬时流量输出,通过开路集电极输出信号进行积算脉冲和事件输出。

依靠这些功能可以实现细致的空燃比控制和装置的流量控制。

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使用说明书 (PDF/3.26MB)

感热式涡流流量计MVF利用高灵敏度、高速响应的“MicroFlow传感器”进行涡街频率的检测，实现了100:1的测量比。

温度、压力补偿功能一体化，无需温度压力传感器和补偿功能装置，从而降低了总成本。

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中压气体流量表CMP系列是检测部采用了本公司独自开发的感热式流速传感器(以下简称μF传感器)的高精度、高量程比的中压气体用商用流量表。具备LCD显示、模拟输出(4～20mA)、累积运算·显示、脉冲输出(开路集电极)等功能，可对应各种应用。流路上内置整流机构，可缩短直管部的长度。即使在弯头配管下游处安装本机，无需直管部也可使用。

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大流量气体质量流量计CML系列是检测部分采用本公司独自开发的感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”的质量流量计。

利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，以低成本实现了以前达不到的高精度、160:1的高量程比和1280:1的最小灵敏度。

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质量流量传感器MCS100系列可以运用在各种科学仪器的空气流量测量、微型电子部件的吸附确认等应用中。

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数字质量流量控制器CMQ-V系列是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器。

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数字质量流量控制器CMQ-V系列中流量型是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器。

型录 (PDF/2.20MB)

使用说明书 (PDF/2.32MB)

数字质量流量控制器CMQ-V系列(用于氢气和氦气)是面向一般产业市场，具有高速、宽量程流量控制特点的新一代高性能低成本的气体流量控制器。集本公司独自开发的超高速响应流速传感器-MicroFlow传感器、比例电磁阀和高度的执行器技术于一体的高性能数字质量流量控制器。

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除雾器MFF100系列是保护产品不受气体中的灰尘、油雾、管道施工时的焊接烟尘等影响的过滤装置。除了压缩空气、低压空气外，还配备了对应天然气或丙烷等可燃性气体以及氩气、二氧化碳等惰气的型号。
(本过滤装置适用的本公司产品型号) CMS、CMQ-V、CMG、CML、CME、CMR、MPC、MVF系列